技术与产品

管式炉

产品介绍



1200度高温CVD(管式)炉:
1 炉管直径:50MM,材料:石英;
2 最高温度:1200度;控温精度:±2度;
3 进气:四路MFC(质量流量计),流量0-200SCCM;
4 抽气系统:旋片式真空泵,极限真空:6.7*10E-1Pa;
5 气路均采用精密卫生级不锈钢制作;
6 机架:工业铝型材搭建,外观简洁,美观;7 万向脚轮:可任意移动至任何位置;


1600度高温CVD(管式)炉:
1 炉管直径:80MM,材料:氧化铝陶瓷(刚玉管);
2 最高温度:1600度;控温精度:±5度;
3 进气:四路MFC(质量流量计),流量0-200SCCM;
4 抽气系统:旋片式真空泵,极限真空:6.7*10E-2Pa;
5 气路均采用精密卫生级不锈钢制作;
6 机架:工业铝型材搭建,外观简洁,美观;7 万向脚轮:可任意移动至任何位置;

  • 产品名称:管式炉
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