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OLED照明面板中试线,小试线

产品介绍



在研装备------OLED照明面板中试线,小试线

中试线:

特点:

1 大面积OLED照明面板制备(300mm*300mm);

2 采用集成化系统,所有操作均在电脑/触摸屏界面完成

3控制软件中植入各种误操作互锁程序,避免设备误操作

4全自动程控基片送取及传递,全自动控制MASK在线更换;

5采用线性蒸发源蒸发有机材料,均匀性好,效率高

 

主要参数:

1 腔体:方形:2700mm*800mm*850mm,单侧多门,材质:SUS304

2 真空:极限真空2.0*10-5Pa. 分子泵+无油干泵

3 基片:尺寸300mm*300mm,真空下在线更换MASK

4 机架:80铝型材搭建,轻便、美观

5 蒸发源:线性有机蒸发源+金属点源

6 膜厚控制:石英晶振膜厚仪,闭合自动控制蒸发速率7 操作系统:PLC+触摸屏




小试线:

特点:

1 大面积OLED照明面板制备(不大于100mm*100mm);

2 采用集成化系统,所有操作均在电脑/触摸屏界面完成

3控制软件中植入各种误操作互锁程序,避免设备误操作

4全自动程控基片送取及传递,全自动控制MASK在线更换;

5多腔体联动,带有基片进取过渡腔,提高实验效率;

 

主要参数:

1 腔体:多腔体组合,包含有过渡腔,金属、有机蒸镀腔,MASK更换腔,基片进取腔,材质:SUS304

2 真空:极限真空2.0*10-5Pa. 分子泵+机械泵

3 基片:<100mm*100mm,真空下在线更换MASK

4 机架:60铝型材搭建,轻便、美观

5 基片过渡腔:可存储多块基片;

6 MASK腔:存储多块有机,金属MASK

7 膜厚控制:石英晶振膜厚仪,闭合自动控制蒸发速率8 操作系统:PLC+触摸屏/电脑





  • 产品名称:OLED照明面板中试线,小试线
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