在研装备------OLED照明面板中试线，小试线
中试线：
特点:
1 大面积OLED照明面板制备（300mm*300mm）；
2 采用集成化系统,所有操作均在电脑/触摸屏界面完成
3控制软件中植入各种误操作互锁程序,避免设备误操作
4全自动程控基片送取及传递，全自动控制MASK在线更换；
5采用线性蒸发源蒸发有机材料，均匀性好，效率高
主要参数：
1 腔体：方形:2700mm*800mm*850mm，单侧多门，材质:SUS304
2 真空：极限真空2.0*10-5Pa. 分子泵+无油干泵
3 基片：尺寸300mm*300mm，真空下在线更换MASK
4 机架：80铝型材搭建，轻便、美观
5 蒸发源：线性有机蒸发源+金属点源
6 膜厚控制：石英晶振膜厚仪，闭合自动控制蒸发速率7 操作系统：PLC+触摸屏
小试线：
特点:
1 大面积OLED照明面板制备（不大于100mm*100mm）；
2 采用集成化系统,所有操作均在电脑/触摸屏界面完成
3控制软件中植入各种误操作互锁程序,避免设备误操作
4全自动程控基片送取及传递，全自动控制MASK在线更换；
5多腔体联动，带有基片进取过渡腔，提高实验效率；
主要参数：
1 腔体：多腔体组合，包含有过渡腔，金属、有机蒸镀腔，MASK更换腔，基片进取腔，材质:SUS304
2 真空：极限真空2.0*10-5Pa. 分子泵+机械泵
3 基片：<100mm*100mm，真空下在线更换MASK
4 机架：60铝型材搭建，轻便、美观
5 基片过渡腔：可存储多块基片；
6 MASK腔：存储多块有机，金属MASK
7 膜厚控制：石英晶振膜厚仪，闭合自动控制蒸发速率8 操作系统：PLC+触摸屏/电脑
