技术与产品

FS-200

产品介绍


设备参数

腔体

方形:200*200*350,前开门,门上有上下二个观察窗,材质:SUS304

真空系统

分子泵+机械泵,配旁抽阀. 极限真空可到8.0*10-5Pa.

真空计显示范围(1.0*10E5Pa-1.0*10E-5Pa),

机架

30进口铝型材组装,轻便,美观

基片盘

手动控制,可任意角度定位.

可装1-4块20*20基片

配四块掩膜板(掩膜图形0-8个),

挡板

手动控制,四个基片位置中同时只蒸镀一个.

蒸发源

金属蒸发源:二组,共用一个阴极

有机蒸发源:八组

电源

金属蒸发电源:功率1KW,电压8V,电流160A,数量:一套

有机蒸发电源:功率:300W,二套,切换使用.

膜厚仪

国产膜厚仪:配二个水冷探头

  • 产品名称:FS-200
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