设备参数 | |
腔体 | 方形:200*200*350,前开门,门上有上下二个观察窗,材质:SUS304 |
真空系统 | 分子泵+机械泵,配旁抽阀. 极限真空可到8.0*10-5Pa. 真空计显示范围(1.0*10E5Pa-1.0*10E-5Pa), |
机架 | 30进口铝型材组装,轻便,美观 |
基片盘 | 手动控制,可任意角度定位. 可装1-4块20*20基片 配四块掩膜板(掩膜图形0-8个), |
挡板 | 手动控制,四个基片位置中同时只蒸镀一个. |
蒸发源 | 金属蒸发源:二组,共用一个阴极 有机蒸发源:八组 |
电源 | 金属蒸发电源:功率1KW,电压8V,电流160A,数量:一套 有机蒸发电源:功率:300W,二套,切换使用. |
膜厚仪 | 国产膜厚仪:配二个水冷探头 |
