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皮秒激光切割刻蚀机招标公告

日期:2017-9-12 17:21:58


江苏集萃光电检测中心(以下简称“招标人”)应业务需要,对《皮秒激光切割刻蚀机》进行公开招标,欢迎合格的供应商参加投标。

现将相关事项公告如下:

一、项目名称及编号: 

1、项目名称:皮秒激光切割刻蚀机

2、招标编号:JSJC20170909-3

二、招标范围: 

皮秒激光切割刻蚀机  数量:1台

设备参数要求见附表一

 

三、投标人资格要求: 

参见《江苏集萃光电检测中心招标采购仪器设备投标人须知》

 

四、招标报名时间:

招标报名截止时间:2017年9月18日17:30

招标报名方式可分为:现场报名或邮件报名

报名联系人:朱荔女士

报名地址:江苏省苏州市吴江区汾湖大道1198号办公楼2楼

联系电话:0512 62316052

邮箱:jsjc_cgxz@jitriioo.com

报名须填写供应商信息表,详见附表二

 

五、投标时间

投标截止时间:2017年9月22日17:30

投标联系人:朱荔女士

投标地址:江苏省苏州市吴江区汾湖大道1198号办公楼2楼

联系电话:0512 62316052

 

投标截止前如有任何技术问题,请联系:

技术联系人:Michaelwang

联系电话:15151602072

邮箱:wangyh@jitriioo.com

 


 

附表一:设备参数要求

一、基本信息

仪器设备名称

皮秒激光切割刻蚀机

购置平台

检测中心

 

二、主要技术性能指标和配置要求

 

 

 

 

1.  设备名称及数量

  皮秒激光切割刻蚀机  壹 套

2.       设备用途和总体功能要求 

皮秒激光设备主要应用为(玻璃基板的切割、ITO图案的刻蚀、及玻璃基板的Mark打码,使用红外皮秒激光器,柔性PET产品的切割使用二氧化碳激光器)。设备对应的产品尺寸为玻璃基板200mm*200mm~370mm*470mm, 单板玻璃基板的厚度为0.5~1.1mm,合板玻璃的厚度1.0~2.2mm;柔性PET基底尺寸为200mm*200mm厚度为0.2~0.5mm, 加工是根据dxf格式图纸;

3.  技术规格和要求:

备注:“*”表示设备规格的必要条件,必须达到该规格。

3.1   设备系统主要构成:

3.1.1

1)激光器单元;

2)影像单元;

3)控制系统及软件;

   3.2 整体规格

3.1.2

设备整体尺寸TBD

设备总重量/台:<5吨

*工作台高度:1100±20mm

设备外形整体的实际尺寸与设计图纸尺寸误差≤±5mm。

       设备平台尺寸≥420mm*520mm

       移动重复稳定性:±3µm,移动位置精度:≤±5µm

3.3切割/打码/ITO刻蚀

3.3.1玻璃基板切割:

*玻璃材质为,有碱/无碱;切割有效范围370mm~470mm。

      * 3.3.2chipping(包括崩角/边、凸边、毛刺、裂痕)量:

        a(长)≤35um,b(宽)≤35um,c(高)≤35um

        注:以上对应单板厚度0.7T

 

*3.3.3切割断面的品质均一性:

(随机抽测5小片在OM下观察断面,断面品质需处于同一水准,不可出现异常断面)

*3.3.4破片率:≤0.2%

*3.3.5切割精度:≤±30um

*3.3.6产品静电量:≤±150V

       * 3.3.7平台采用真空吸附,吸附玻璃基板及PET材质基底时无翘曲现象

3.3.8基板入料方式:手动,入料方向如下图所示


Y

 

X

 

        *3.3.9合板切割时不可伤及引线线路;

        3.3.10下图为合板切割后状况

 

 

 


            玻璃基板        封装盖板

 

 

 

     *3.4 打码:在Bare glass及ITO玻璃基板上进行打码

        3.4.1基板大小: (200±0.5) x (200±0.5)~ (370±0.5) x (470±0.5) (mm)
*3.4.2基板厚度: 0.3±10% ~ 1.1±10% (mm),Mark尺寸及图形如下图所示;


    

*3.4.3Mark大小:500±20um, 打码位置精度(X/Y 方向):≤±20um;

3.4.4工艺流程:入料→基板固定→对位→打标&检查→基板释放→出料

*3.4.5打码方法:玻璃内镭射/玻璃表面镭射打码

*3.4.6打码方向:0,90,180,270 度(4 个方向均可以);方向由 recipe 控制

*3.4.7打码范围:玻璃表面所有区域

3.5 ITO刻蚀

*ITO厚度范围130~180nm,膜厚均一性≥95%

*ITO最细线宽及线距≤20um,熔边高度≤10nm

*ITO线路刻蚀不可伤及玻璃基底

*激光刻蚀可对应不同形状,直线、折线、圆弧及其它异形

激光器单元

皮秒激光器的波长1030---1064nm

*功率:≥10W

激光光斑大小

具有异形切割功能

频率:20-500KHz

*加工脉宽:10ps~15ps可调

*激光器寿命:≥1.5万小时

激光器衰减周期:8000H内能量衰减<20%

*冷却方式:空冷或水冷,水冷方式必须有冷却水洁净检测装置

*玻璃基板的切割道宽度:≤5um,

3.6 PET柔性基底切割(200mm*200mm)

柔性基板的厚度0.3~0.7mm

*切割熔边范围≤100um

*PET基底的切割道宽度:≤100um

*CO2 激光器切割精度:≤±50µm

*直线度:≤50µm

*外观合格率:≥99.9%

CO2激光器单元

*功率≥80W

*波长9300nm~9600nm

频率0~100KHZ

*光斑大小≤0.1mm

    * 功率稳定性:<±3%

    * 加工线宽均一性:≥95%

    *切割损伤区:≤0.15mm

*热影响区:≤0.2mm

寿命: >10000H

*一次切割深度: ≥0.2mm(以速度≥100mm/s 为基准)

*出光路径与平台夹角90°±0.1°

输出能量控制: 10000Steps for 0~100%。

配备激光能量测量器

冷却方式:使用水冷,水冷方式必须有冷却水洁净检测装置

 

硬件规格

承载单元

承载单元材质:铝

承载机构表面处理:硬质阳极氧化处理+防静电图层

真空吸附区域:依据玻璃大小自动控制

*平台的平整度:≤±50um,平台真空孔的pitch≤20mm

*控制Main table的马达采用线性马达,位置精度≤±5um

线性马达或伺服马达的速度为0~700mm/S

设备稳定性

*稼动率:≥98%

*设备维修时间≤ 2小时

X轴行程:500 mm  / 传送速度:Max500mm/sec  分辨率:1um

Y轴行程:650 mm  / 传送速度:Max500mm/sec   分辨率:1 um

Z轴行程:20mm   /  上下速度:Max20mm/sec    分辨率:1um

影像对位单元

*视野范围2mm*2mm~4mm*4mm

Mark类型:买方指定

*CCD分辨率:≤5um

*CCD对位精度:±5um

LED灯的寿命:≥20000小时

*CCD对位方向:上

控制单元:应具有recipe的制作编辑、工艺参数制作的编辑、工艺状态的显示、Alarm界面、可通过切换进行不同source工作状态的切换;

主控显示器必须为触摸屏;

主控显示器面板必须有紧急停止按钮;

显示屏上需要包含工艺参数。包括功率、压力、温度、气体流量、时间;
主控制器硬件参数:

*微处理器≥2.5G,随机处理器≥2.5G

监视器:液晶显示

输入设备:键盘、触摸面板、鼠标

操作系统:Windows10;

硬盘须适用 7200rpm 转速以上,支持热插拔;

操作界面:英文和英文界面可相互切换
*Recipe 数量: 0~99

Recipe 制作和编辑:

登录前须确认账户和密码

须保存 recipe 编辑内容记录

支持 recipe 复制功能

报警:控制面板须能显示警告信息且设备须能出蜂鸣声,设备停止运行。

软件升级和改造:

保修期内所有软件修正免费;

保修期外由 Bug 引起的软件升级免费。

*安全规格:

互锁功能

门/外罩开关、安全插头、异常检知传感器等设有互锁功能。
紧急停止开关(按钮及排布形状按照厂商标准)。

暂停开关:当按下暂停开关机械动作停止动作,并且报警;当暂停开关被释放时原机械动作回复;

安全插头拔下时或者门开关、外罩开关 off(操作时 on),执行紧急停止操作。

*安全对策:

1.当装置运行时,为防止操作员的错误操作而装有 inter lock。

2.冷却水压力、冷却水流量、空气压力等发生异常时、发出警告。

设备有事故防止或装置保护的各种异常检出机构。异常检出时,蜂鸣器响起,同时在显示器上表示出异常内容。

警告标签:

在所有危险位置标记;

使用中文和英语;

(包括腐蚀性警告标签,有毒警告标签,烫伤警告标签,机械性损伤警告标签等)。

技术培训及服务要求:

1、设备move in后卖方对买方人员进行技术培训培训次数不少于5次,每次不少于2H,培训次数可根据买方实际需求进行增加。

  2、设备最终验收应以买方规格书为最终依据;

 3、随设备提供设备的操作说明手册、维护手册和服务手册(可电子版);

4、设备厂商应给出激光器parts的相关品牌List;

 


 

附表二:供应商信息收集表

   供应商类型:   分销商(Distributor)□;   制造商(Manufacturer)□;  两者都是(Both)□;

公司名称/简称(Name of  Company /Brief Name):

 

 

地址(Address):

 

电话

(Tel)

传真

(Fax)

电子邮件

(E-mail)

产品介绍:产品名称、产地、产量(Brief Introduction of Products: Name, Goods of Origin Turnout)

 

 

交货地点方式                                     币种                                支付条款

(Delivery Place)                               (Currency)                         (Payment Terms)

 

银行信息

(Bank Information)

银行名称

(Bank Name)

银行地址

(Bank Address)

账号

(Account)

会计号码

(Swift code)

收款单位名称

(Payee )

发票信息

(Invoice Information)

发票类型            □17%增值税发票(VAT)   □6%增值税发票(VAT)

(Type of Invoice)  □4%增值税发票(VAT)     □普通发票(General)

 

税号

(Tax Account)

业务联系人(Contact Person)

 

业务联系人英文名称:(English Name of Contact Person)

 

性别(Gender)

电话(Tel)

财务联系人

(Fin Person)

性别

(Gender)

传真

(Fax)

1、上述内容签字盖章才有效;No effect without your signature and stamp.

2、其真实性有法律效应;All the information has legality.