半导体特性测试探针台招标公告

仪器设备名称

半导体特性测试探针台

购置平台

分析测试平台

1.硬件规格：

1） 8英寸手动探针台，含微暗室，具有遮光和屏蔽外界电磁干扰的功能；

2） 载物台可以实现X, Y, Z, Theta 四个方向的移动：

a） X/Y方向需要满足快速移动，位移范围≥200 mm x 200 mm，移动精度≤1.0 μm；

b） Z轴方向需要满足快速升降，且升降高度≥5 mm；

c） Theta ≥ ±5°，旋转精度≤ 0.8°；

3） 载物台：平坦度≤ 5μm；

4） 探针座：针座6个，X/Y/Z可调行程≥12mm; 移动精度≤ 1.0μm；

5） 探针：Kelvin探针，高低温条件下漏电流≤20fA；

6） 探针台台面可实现升降，升降高度≥3mm，且能安全锁定；

7） 探针台满足高、低温测试：

a） 温度范围：低温≤ -80℃，高温≥150℃，温度精度≤ 0.01℃，温度稳定性≤ 0.1℃；

b） 降温（常温降低到-50℃）时间≤30min，升温（常温升高到150℃）时间≤20min，且低温下载物台不能结霜；

8） 显微镜：

a） 放大倍数20X-400X;

b） X/Y移动行程≥50 x 50 mm；

c） 像素≥500万的彩色数字摄像头，有观察测量软件；

9） 探针台需支持IV/CV测试，且漏电等级≤20fA；

10) 配置屏蔽暗箱，气浮式防震桌，探针等必要附件；

1.  设备附件及零备件

1） 列出下列各项清单，单独报价，并计入投标总价。

a)  设备标准配置和随机标准附件。

b)  在设备免费保修期内，由设备原因导致需要更换的备品备件和易损件由卖方免费提供。

c)  提供一套完整的维修和操作的专用工具。

d)  免费保修期后设备运行一年所需的备品备件。

2)  提供必要的技术资料：

设备操作使用手册、维修手册、零部件清单、基础图、设备总图、部件装配图、电气原理图、电气接线图、计算机控制程序软件及其他必要的技术文件、备件书及预验收和终验收结果数据材料等。

2.  技术培训及服务要求

1)  根据我司实际需求提供及时有效的服务；

4.  其它规格

1) 须保证不会泄露买方的机密文件和信息。

2) 所买显微镜必须包含但不限于以上技术规格。

   供应商类型：   分销商(Distributor)□；   制造商(Manufacturer)□;  两者都是(Both)□；

公司名称/简称(Name of  Company /Brief Name)：

地址(Address)：

电话

(Tel)

传真

(Fax)

电子邮件

(E-mail)

产品介绍：产品名称、产地、产量(Brief Introduction of Products: Name, Goods of Origin Turnout)

交货地点方式                                     币种                                支付条款

(Delivery Place)                               (Currency)                         (Payment Terms)

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发票信息

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发票类型            □17%增值税发票(VAT)   □6%增值税发票(VAT)

(Type of Invoice)  □4%增值税发票(VAT)     □普通发票(General)

税号

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业务联系人(Contact Person)

业务联系人英文名称：(English Name of Contact Person)

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财务联系人

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1、上述内容签字盖章才有效；No effect without your signature and stamp.

2、其真实性有法律效应；All the information has legality.