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膜厚仪(台阶仪)招标公告

日期:2017/7/6 15:34:03


江苏集萃光电检测中心(以下简称“招标人”)应业务需要,对《膜厚仪(台阶仪)》进行公开招标,欢迎合格的供应商参加投标。

现将相关事项公告如下:

一、项目名称及编号: 

1、项目名称:膜厚仪(台阶仪)设备采购

2、招标编号:JSJC20170704-1

 

二、招标范围: 

膜厚仪(台阶仪)  数量:1台

设备参数要求见附表一

 

三、投标人资格要求: 

参见《江苏集萃光电检测中心招标采购仪器设备投标人须知》(可从研究所官网下载:www.jitriioo.com)

 

四、招标报名时间:

招标报名截止时间:2017年7月10日

招标报名方式可分为:现场报名或邮件报名

报名联系人:朱荔女士

报名地址:江苏省苏州市吴江区汾湖大道558号汾湖科创园人才公寓303室 

联系电话:0512 63185249

邮箱:jsjc_cgxz@jitriioo.com

报名须填写供应商信息表,详见附表二

 

五、投标时间

投标截止时间:2017年7月14日16:00

投标联系人:朱荔女士

投标地址:江苏省苏州市吴江区汾湖大道558号汾湖科创园人才公寓303室 

联系电话:0512 63185249

 

投标截止前如有任何技术问题,请联系:

技术联系人:冯亚青

联系电话:13862022561

邮箱:fengyaqing@f-sheng.com

 

附表一:设备参数要求

一、基本信息

仪器设备名称

膜厚仪(台阶仪)

购置平台

分析测试平台

 

二、主要技术性能指标和配置要求

技术性能指标:

1)扫描长度≥55 mm;

2)测试所允许的样品厚度≥50 mm;

3)垂直方向的扫描范围≥1000 μm;

4)测试高度方向的重复性≤0.5 nm(1 μm的标准台阶,2 μm的探针);

5)测试垂直分辨率≤0.1 nm;

6)XY移动载物台,X≥150 mm行程,Y≥150 mm行程;

7)样品台尺寸:200*200 mm,可以真空吸附32*32 mm-200*200 mm的样品;

8)探针压力:1-15 mg能精确控制探针压力,保证在不同力下不破坏样品;

9)提供获得认证的校准用标样;

10)系统具有超光滑平面,保证扫描基线稳定性;

11)提供专用的分析软件并终身免费升级,30多种分析功能;

12)多次扫描分析≥30次;

13)仪器采用的传感器需保证仪器稳定性,数据重复性和可靠性三者合一,重复性要达到0.5 nm在1 μm的台阶上使用2 μm的探针(30次测量);

14)单次扫描最大采样点数≥120,000;

15)仪器配有环境保护罩,防止静电环境影响;

16)薄膜应力测量功能;

17)简易拆装探针装置。

主要配置:

仪器主机(测试传感器);样品台;软件系统;1 μm标准块;2 μm探针;计算机;防震台。

 

 

 

附表二:供应商信息收集表

   供应商类型:   分销商(Distributor)□;   制造商(Manufacturer)□;  两者都是(Both)□;

公司名称/简称(Name of  Company /Brief Name):

 

 

地址(Address):

 

电话

(Tel)

传真

(Fax)

电子邮件

(E-mail)

产品介绍:产品名称、产地、产量(Brief Introduction of Products: Name, Goods of Origin Turnout)

 

 

交货地点方式                                     币种                                支付条款

(Delivery Place)                               (Currency)                         (Payment Terms)

 

银行信息

(Bank Information)

银行名称

(Bank Name)

银行地址

(Bank Address)

账号

(Account)

会计号码

(Swift code)

收款单位名称

(Payee )

发票信息

(Invoice Information)

发票类型            □17%增值税发票(VAT)   □6%增值税发票(VAT)

(Type of Invoice)  □4%增值税发票(VAT)     □普通发票(General)

 

税号

(Tax Account)

业务联系人(Contact Person)

 

业务联系人英文名称:(English Name of Contact Person)

 

性别(Gender)

电话(Tel)

财务联系人

(Fin Person)

性别

(Gender)

传真

(Fax)

1、上述内容签字盖章才有效;No effect without your signature and stamp.

2、其真实性有法律效应;All the information has legality.