黄光前清洗系统和蒸镀前清洗系统招标公告

仪器设备名称

黄光前清洗系统

购置平台

光电加工平台

备注：“*”表示设备规格的必要条件，必须达到该规格。

一、总体要求：

1. *该设备主要用于中试线黄光前玻璃基板表面的清洗，对应的玻璃基板尺寸为200mm*200mm，玻璃基板的厚度为0.7mm~1.5mm。

2.

设备尺寸：TBD

3. 玻璃基板的流片方向

4. 玻璃基板的无效区域：距离玻璃基板边缘6mm。

5. *玻璃基板的上/下料方式：手动投/取料，设备的投片高度为950mm±20mm。

6. 传动分布方式：齿轮传动，材质为UPE。传动过程总需要有O型环对无效区进行压合。

7. 设备的Passline高度950mm±20μm,设备的滚轮材质需为不锈钢的SUS材料，设备的传送速度需为可调,传送速度≥1mm/s。

8. 本体构造及材质

设备的槽体：透明PVC

设备机架：SUS304

上盖： PVC 透明，单层盖设计

外盖： PVC 透明

搬送轴心 材质：SUS316/304(316首选)

Roller材质：     UPE/PE

设备的roller转动方式均为马达驱动,Roller间的高度误差≤500μm,产品对位精度±1mm)

设备需自带基板检知SENSOR

9.触摸屏：需在入料口，出料口均有一处触摸屏控制系统，面板尺寸≥12〃。

10. *设备的最大维护时间≤8H,设备的tact time 40S （speed 2.4m/min,glass gap 470mm）。

11.设备的制程流程：

*入料→液切→毛刷清洗→中压水洗→高压水洗→二流体水洗→风刀吹干→出料。

二、设备各制重要程单元及工艺规格详细要求

1.产品尺寸规格：(L)200mm*(W)200mm长宽尺寸公差为±0.2mm,产品厚度0.7mm~1.5mm±0.05mm。

2.设备的操作模式：手动模式、半自动模式、全自动模式。

3.工作台：无，环境洁净度：Class1000。

4. *particle的去除率：

particle(S)≤3μm，去除率≥98%；

3μm＜particle(M)≤10μm,去除率≥99%

  particle (L)＞10μm,去除率≥99.5%

清洗后particle总量≤100ea,M+L≤20ea，L≤5ea，水滴角检测≤5℃。

（备注particle检测方法为：将产品完成清洗后的产品拿至AOI设备进行检查；有机物检测方法为：将清洗后的产品使用水滴角检测仪进行角度检验）

5.*设备的稳定性，验收检查时设备连续运行3000pcs产品无刮痕和破损，设备无异常。

6.*设备稳定性 MTBF＞100H（平均故障时间）MTTR＜2H(设备平均恢复时间），设备稼动率≥90%。

7.材质：

槽体：Clean-PVC:10mm。

滚轴：SUS 304/316；d25~35mm无缝型,湿法区PE斜齿轮，干法区采用磁力轮。

8.工艺规格

8.1*工艺质量：整个200mm*200mm区域 。  

8.2*清洗效果的均一性 5%（片内取若干个点，(水滴角最大值-水滴角最小值)/(水滴角最大值+水滴角最小值）*100%＜5%)；

Mura和水痕：无mura和水痕，滚轴痕迹。

8.3*背面无滚轴痕迹，没有异常微粒聚焦。

8.4液切

液切风刀材质：PVC及CDA流量计。

喷洒管：上下各4~6支，压力调节：rinse压力＞0.12mpa。

水槽容积≥150L，水槽应带有高低水位监测sensor。

流量监控：每一根喷灌设立独立的流量计监控/调整流量，并可向PLC上传模拟信号。

压力监控 ：高压喷淋需要具备独立的压力开关，抵压力警报alarm。

流量调整方法：手动阀

8.5毛刷清洗

滚刷线径≤0.1mm,材质PA610（尼龙），

滚刷外径30~50，滚刷线长≥15mm，

压入量-5~+5mm(工艺区间为-1.2~0mm),

压入量控制系统：伺服控制，精度在0.1mm.

滚刷转速在100~500rpm,可以正反转recipe中可调。

具有独立的滚刷冲刷功能，毛刷为2~4组。

8.6 滤芯使用等级

洗剂过滤10μm；毛刷清洗5μm，超声波5μm,中压5μm

,高压3μm,BJ&纯水0.2μm；

8.7滚轴分布间距pitch 30mm~60mm；

9.中压水洗

喷洒系统

*喷洒PUMP：喷洒压力范围：2~4 kg/cm²

喷洒压力表：上喷、下喷指针式压力表,喷管： PVC

水槽容积：≥150L,水槽材质： PVC

操作温度： 常温,液位SENSOR：3组，需要具有独立的补水电磁阀

10高压水洗

喷洒PUMP：       1台

*喷洒压力：       MAX范围：5~10 MPa

喷洒压力表：  上喷、下喷指针式压力表，喷管：  上喷3支、下喷3支

喷洒流量计：数位式1组，过滤器压力表：过滤前后各一组。

水槽容积：    ≥150L,水槽材质： PVC

11.二流体水洗

喷嘴型式 :SUS 304

*喷嘴压力/流量 : 压力:Max3KG/cm² ,压力采用手动阀调整

上下均需要至少2根喷管，材质为PVC

*喷洒角度角度可调，压力表范围0~8kg/cm²

12.风刀吹干

AK： 数量：设上风刀、下风道3~4只；

风刀材质为SUS304

结构：可根据实际工艺对风刀角度进行调整（0~60°）；

流量控制：具有监控CDA流量的流量计；

具有可独立的风刀启闭功能；

13.基板排出

槽体：PVC透明，机架：SUS304

搬送轴心 材质：   SUS316/304

驱动方式：齿轮，玻璃基板排出时需具有基板检出sensor。

*产品的排出位置应安装静电消除系统，产品排出时表面的静电电压在10S内≤±100v。

FFU(Fan Filter Unit)

安装于出料侧；

滤芯材质：PTFE 过滤效率：99.9999%@0.1μm 风速控制：0--0.8m/sec（可调速） 振动：＜1.0mm/s 噪音：＜55DB

数量：≥1

安全要求：

设备应保证每隔1.5米安装一个EMO安全装置。

14. *厂商需列出设备零部件的名称及品牌。

15.设备验收（包含但不限于以下验收项目，需要满足规格书内的设备工艺要求；设备使用过程中残件的解决）

售后服务

•质保部件：整机（耗材如滤芯除外）；

•质保期限： 12 月；制造者对质保期的定义 设备安装调试完成验收次日起12个月；

•设备技术资料提供：

设备厂商需提供设备操作使用手册、设备总图、部件装配图、电气接线图书面资料及电子资料各一套

•卖方需对买方人员进行不少于3次的设备维护及操作培训。

仪器设备名称

蒸镀前清洗系统

购置平台

光电加工平台

备注：“*”表示设备规格的必要条件，必须达到该规格。

一、总体要求：

1.  *该设备主要用于中试线蒸镀前玻璃基板表面的清洗，对应的玻璃基板尺寸为200mm*200mm及370mm*470mm，玻璃基板的厚度为0.7mm~1.5mm。

2. 

设备尺寸：TBD

3.  玻璃基板的流片方向

4.  玻璃基板的无效区域：距离玻璃基板边缘6mm。

5.  *玻璃基板的上/下料方式：手动投/取料，设备的投片高度为950mm±20mm。

6.  传动分布方式：齿轮传动，材质为UPE。传动过程总需要有O型环对无效区进行压合。

7.  *设备的Passline高度950mm±20μm,设备的滚轮材质需为不锈钢的SUS材料，设备的传送速度需为可调,传送速度≥1mm/s。

8.  *本体构造及材质

设备的槽体：透明PVC

设备机架：SUS304

上盖：  PVC 透明，单层盖设计

外盖：  PVC 透明

搬送轴心 材质：SUS316/304(316首选)

Roller材质：        UPE/PE

设备的roller转动方式均为马达驱动，Roller间的高度误差≤500μm,产品对位精度±1mm)

设备需自带基板检知SENSOR

9.触摸屏：需在入料口，出料口均有一处触摸屏控制系统，面板尺寸≥12〃。

10. 设备的最大维护时间≤8H,设备的tact time 40S （speed 2.4m/min,glass gap 470mm）。

11. *设备的制程流程：

入料→液切→毛刷清洗→超声波→中压水洗→高压水洗→二流体水洗→风刀吹干→出料。

二、设备各重要制程单元及工艺规格详细要求

1.产品尺寸规格：(L)200mm*(W)200mm及(L) 370mm*(W)470mm长宽尺寸公差为±0.2mm,产品厚度0.7mm~1.5mm±0.05mm。

2.设备的操作模式：手动模式、半自动模式、全自动模式。

3.工作台：无，环境洁净度：Class1000。

4. *particle的去除率：

particle(S)≤3μm，去除率≥98%；

3μm＜particle(M)≤10μm,去除率≥99%

  particle (L)＞10μm,去除率≥99.5%

清洗后particle总量≤100ea,M+L≤20ea，L≤5ea，水滴角检测≤5℃。

（备注particle检测方法为：将产品完成清洗后的产品拿至AOI设备进行检查；有机物检测方法为：将清洗后的产品使用水滴角检测仪进行角度检验）

10.*设备的稳定性，验收检查时设备连续运行3000pcs产品无刮痕和破损，设备无异常。

11.*设备稳定性 MTBF＞100H（平均故障时间）MTTR＜2H(设备平均恢复时间），设备稼动率≥90%。

12.材质：

槽体：Clean-PVC:10mm。

滚轴：SUS 304/316；d25~35mm无缝型,湿法区PE斜齿轮，干法区采用磁力轮。

13.工艺规格

8.1工艺质量：整个200mm*200mm,370mm*470mm区域 。  

8.2*清洗效果的均一性 5%（片内取若干个点，(水滴角最大值-水滴角最小值)/(水滴角最大值+水滴角最小值）*100%＜5%)；

Mura和水痕：无mura和水痕，滚轴痕迹。

8.3*背面无滚轴痕迹，没有异常微粒聚焦。

8.4液切

液切风刀材质：PVC及CDA流量计。

喷洒管：上下各4~6支，压力调节：rinse压力＞0.12mpa。

水槽容积≥150L，水槽应带有高低水位监测sensor。

流量监控：每一根喷灌设立独立的流量计监控/调整流量，并可向PLC上传模拟信号。

压力监控 ：高压喷淋需要具备独立的压力开关，抵压力警报alarm。

流量调整方法：手动阀

液切工艺使用浓度为5%的碱性溶剂进行清洁；

8.5毛刷清洗

滚刷线径≤0.1mm,材质PA610（尼龙），

滚刷外径30~50，滚刷线长≥15mm，

压入量-5~+5mm(工艺区间为-1.2~0mm),

压入量控制系统：伺服控制，精度在0.1mm.

滚刷转速在100~500rpm,可以正反转recipe中可调。

具有独立的滚刷冲刷功能，毛刷为2~4组。

毛刷清洗段使用液切工艺使用浓度为5%的碱性溶剂进行清洁；

8.6 滤芯使用等级

洗剂过滤10μm；毛刷清洗5μm，超声波5μm,中压5μm

,高压3μm,BJ&纯水0.2μm；

8.7滚轴分布间距pitch 30mm~60mm；

8.8超声波水洗

水槽

水槽容积：  ≥150L/槽水 槽材质：PVC 透明使用液体：DIW or 药剂(弱碱性)

液位SENSOR：    每槽具有高、中、低3个档位的限位sensor.

超音波

超音波型式：投入式,超音波功率： 0.8~2.0KW

振动子材质：SUS304/316

14.中压水洗

喷洒系统

*喷洒PUMP：喷洒压力范围：2~4 kg/cm²

喷洒压力表：上喷、下喷指针式压力表,喷管：   PVC

水槽容积：≥150L,水槽材质： PVC

操作温度：  常温,液位SENSOR：3组，需要具有独立的补水电磁阀

10高压水洗

喷洒PUMP：      1台

*喷洒压力：     MAX范围：5~10 MPa

喷洒压力表：    上喷、下喷指针式压力表，喷管：  上喷3支、下喷3支

喷洒流量计：数位式1组，过滤器压力表：过滤前后各一组。

水槽容积：      ≥150L,水槽材质：   PVC

12.二流体水洗

喷嘴型式 :SUS 304

*喷嘴压力/流量 :压力:Max3KG/cm² ,压力采用手动阀调整

上下均需要至少2根喷管，材质为PVC

*喷洒角度角度可调，压力表范围0~8kg/cm²

12.风刀吹干

AK： 数量：设上风刀、下风道3~4只；

风刀材质为SUS304

*结构：可根据实际工艺对风刀角度进行调整（0~60°）；

流量控制：具有监控CDA流量的流量计；

具有可独立的风刀启闭功能；

14.基板排出

槽体：PVC透明，机架：SUS304

搬送轴心 材质： SUS316/304

驱动马达：  1台，驱动方式：齿轮，玻璃基板排出时需具有基板检出sensor。

*产品的排出位置应安装静电消除系统，产品排出时表面的静电电压在10S内≤±100v。

FFU(Fan Filter Unit)

安装于出料侧；

滤芯材质：PTFE 过滤效率：99.9999%@0.1μm 风速控制：0--0.8m/sec（可调速） 振动：＜1.0mm/s 噪音：＜55DB

数量：3

安全要求：

设备应保证每隔2米安装一个EMO安全装置。

14.*厂商需列出设备零部件的名称及品牌。

15.设备验收设备验收（包含但不限于以下验收项目，需要满足规格书内的设备工艺要求；设备使用过程中残件的解决）

售后服务

•质保部件：整机（耗材如滤芯除外）；

•质保期限： 12 月；制造者对质保期的定义 设备安装调试完成验收次日起12个月；

•设备技术资料提供：

设备厂商需提供设备操作使用手册、设备总图、部件装配图、电气接线图书面资料及电子资料各一套

•卖方需对买方人员进行不少于3次的设备维护及操作培训。

   供应商类型：   分销商(Distributor)□；   制造商(Manufacturer)□;  两者都是(Both)□；

公司名称/简称(Name of  Company /Brief Name)：

地址(Address)：

电话

(Tel)

传真

(Fax)

电子邮件

(E-mail)

产品介绍：产品名称、产地、产量(Brief Introduction of Products: Name, Goods of Origin Turnout)

交货地点方式                                     币种                                支付条款

(Delivery Place)                               (Currency)                         (Payment Terms)

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(Bank Name)

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