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黄光前清洗系统和蒸镀前清洗系统招标公告

日期:2017/7/6 15:33:24


江苏集萃光电检测中心(以下简称“招标人”)应业务需要,对《黄光前清洗系统和蒸镀前清洗系统》进行公开招标,欢迎合格的供应商参加投标。

现将相关事项公告如下:

一、项目名称及编号: 

1、项目名称:黄光前清洗系统和蒸镀前清洗系统设备采购

2、招标编号:JSJC20170704-4

二、招标范围: 

黄光前清洗系统  数量:1套

蒸镀前清洗系统  数量:1套

 

设备参数要求见附表一

 

三、投标人资格要求: 

参见《江苏集萃光电检测中心招标采购仪器设备投标人须知》(可从研究所官网下载:www.jitriioo.com)

 

四、招标报名时间:

招标报名截止时间:2017年7月14日

招标报名方式可分为:现场报名或邮件报名

报名联系人:朱荔女士

报名地址:江苏省苏州市吴江区汾湖大道558号汾湖科创园人才公寓303室 

联系电话:0512 63185249

邮箱:jsjc_cgxz@jitriioo.com

报名须填写供应商信息表,详见附表二

 

五、投标时间

投标截止时间:2017年7月21日16:00

投标联系人:朱荔女士

投标地址:江苏省苏州市吴江区汾湖大道558号汾湖科创园人才公寓303室 

联系电话:0512 63185249

 

投标截止前如有任何技术问题,请联系:

技术联系人:MichaelWang

联系电话:15151602072

邮箱:wangyh@jitriioo.com

 

附表一:设备参数要求

黄光前清洗系统

一、基本信息

仪器设备名称

黄光前清洗系统

购置平台

光电加工平台

 

二、主要技术性能指标和配置要求

备注:“*”表示设备规格的必要条件,必须达到该规格。

一、总体要求:

1. *该设备主要用于中试线黄光前玻璃基板表面的清洗,对应的玻璃基板尺寸为200mm*200mm,玻璃基板的厚度为0.7mm~1.5mm。

2.

200mm

 

设备尺寸:TBD

3. 玻璃基板的流片方向

200mm

 

 

 

 

 


4. 玻璃基板的无效区域:距离玻璃基板边缘6mm。

5. *玻璃基板的上/下料方式:手动投/取料,设备的投片高度为950mm±20mm。

6. 传动分布方式:齿轮传动,材质为UPE。传动过程总需要有O型环对无效区进行压合。

7. 设备的Passline高度950mm±20μm,设备的滚轮材质需为不锈钢的SUS材料,设备的传送速度需为可调,传送速度≥1mm/s。

8. 本体构造及材质

设备的槽体:透明PVC

设备机架:SUS304

上盖: PVC 透明,单层盖设计

外盖: PVC 透明

搬送轴心 材质:SUS316/304(316首选)

Roller材质:     UPE/PE

设备的roller转动方式均为马达驱动,Roller间的高度误差≤500μm,产品对位精度±1mm)

设备需自带基板检知SENSOR

9.触摸屏:需在入料口,出料口均有一处触摸屏控制系统,面板尺寸≥12〃。

10. *设备的最大维护时间≤8H,设备的tact time 40S (speed 2.4m/min,glass gap 470mm)。

11.设备的制程流程:

*入料→液切→毛刷清洗→中压水洗→高压水洗→二流体水洗→风刀吹干→出料。

二、设备各制重要程单元及工艺规格详细要求

1.产品尺寸规格:(L)200mm*(W)200mm长宽尺寸公差为±0.2mm,产品厚度0.7mm~1.5mm±0.05mm。

2.设备的操作模式:手动模式、半自动模式、全自动模式。

3.工作台:无,环境洁净度:Class1000。

4. *particle的去除率:

particle(S)≤3μm,去除率≥98%;

3μm<particle(M)≤10μm,去除率≥99%

  particle (L)>10μm,去除率≥99.5%

清洗后particle总量≤100ea,M+L≤20ea,L≤5ea,水滴角检测≤5℃。

(备注particle检测方法为:将产品完成清洗后的产品拿至AOI设备进行检查;有机物检测方法为:将清洗后的产品使用水滴角检测仪进行角度检验)

5.*设备的稳定性,验收检查时设备连续运行3000pcs产品无刮痕和破损,设备无异常。

6.*设备稳定性 MTBF>100H(平均故障时间)MTTR<2H(设备平均恢复时间),设备稼动率≥90%。

7.材质:

槽体:Clean-PVC:10mm。

滚轴:SUS 304/316;d25~35mm无缝型,湿法区PE斜齿轮,干法区采用磁力轮。

8.工艺规格

8.1*工艺质量:整个200mm*200mm区域 。  

8.2*清洗效果的均一性 5%(片内取若干个点,(水滴角最大值-水滴角最小值)/(水滴角最大值+水滴角最小值)*100%<5%);

Mura和水痕:无mura和水痕,滚轴痕迹。

8.3*背面无滚轴痕迹,没有异常微粒聚焦。

8.4液切

液切风刀材质:PVC及CDA流量计。

喷洒管:上下各4~6支,压力调节:rinse压力>0.12mpa。

水槽容积≥150L,水槽应带有高低水位监测sensor。

流量监控:每一根喷灌设立独立的流量计监控/调整流量,并可向PLC上传模拟信号。

压力监控 :高压喷淋需要具备独立的压力开关,抵压力警报alarm。

流量调整方法:手动阀

8.5毛刷清洗

滚刷线径≤0.1mm,材质PA610(尼龙),

滚刷外径30~50,滚刷线长≥15mm,

压入量-5~+5mm(工艺区间为-1.2~0mm),

压入量控制系统:伺服控制,精度在0.1mm.

滚刷转速在100~500rpm,可以正反转recipe中可调。

具有独立的滚刷冲刷功能,毛刷为2~4组。

8.6 滤芯使用等级

洗剂过滤10μm;毛刷清洗5μm,超声波5μm,中压5μm

,高压3μm,BJ&纯水0.2μm;

8.7滚轴分布间距pitch 30mm~60mm;

9.中压水洗

喷洒

*喷洒PUMP:喷洒压力范围:2~4 kg/cm2

喷洒压力表:上喷、下喷指针式压力表,喷管: PVC

水槽容积:≥150L,水槽材质: PVC

操作温度: 常温,液位SENSOR:3组,需要具有独立的补水电磁阀

10高压水洗

喷洒PUMP:       1台

*喷洒压力:       MAX范围:5~10 MPa

喷洒压力表:  上喷、下喷指针式压力表,喷管:  上喷3支、下喷3支

喷洒流量计:数位式1组,过滤器压力表:过滤前后各一组。

水槽容积:    ≥150L,水槽材质: PVC

11.二流体水洗

喷嘴型式 :SUS 304

*喷嘴压力/流量 : 压力:Max3KG/cm2 ,压力采用手动阀调整

上下均需要至少2根喷管,材质为PVC

*喷洒角度角度可调,压力表范围0~8kg/cm2

12.风刀吹干

AK: 数量:设上风刀、下风道3~4只;

风刀材质为SUS304

结构:可根据实际工艺对风刀角度进行调整(0~60°);

流量控制:具有监控CDA流量的流量计;

具有可独立的风刀启闭功能;

13.基板排出

槽体:PVC透明,机架:SUS304

搬送轴心 材质:   SUS316/304

驱动方式:齿轮,玻璃基板排出时需具有基板检出sensor。

*产品的排出位置应安装静电消除系统,产品排出时表面的静电电压在10S内≤±100v。

FFU(Fan Filter Unit)

安装于出料侧;

滤芯材质:PTFE 过滤效率:99.9999%@0.1μm 风速控制:0--0.8m/sec(可调速) 振动:<1.0mm/s 噪音:<55DB

数量:≥1

安全要求:

设备应保证每隔1.5米安装一个EMO安全装置。

14. *厂商需列出设备零部件的名称及品牌。

15.设备验收(包含但不限于以下验收项目,需要满足规格书内的设备工艺要求;设备使用过程中残件的解决)

项次

检验项目

条件

方法/工具

标准

1

设备外观尺寸

依规格书

(设计完成版本为基准)

卷尺量测

误差±10MM

2

传输测试

(验收人员操作)

玻璃尺寸

共200片纯水清洗连续运转

现场实测

100%

误操作及玻璃基板不合格除外

4

滚痕

累计生产3000pcs产品无刮痕和破损,设备无异常。

目视检查

无滚痕

5

刮痕

目视检查

无刮痕

6

泄漏测试

纯水运转

现场实测

无漏水

7

手动操作

依设备操作手册

全程手动操作运转

运转正常

8

安全项目

检查安全系统项目

(1).DI WATER流量异常警报

(2).CDA压力不足警报

(3).循环槽液位异常警报

(4).漏液警报

(5).超温警报

(6).马达、泵浦过载警报

 

现场实测

安全系统正常使用

9

静电值

风刀吹过后的素玻璃

静电值5点量测

环境温度23±3℃

环境湿度55±5%

静电

ESD≤±100V

10

洁净能力

详见设备各重要制程单元及工艺规格详细要求

详见设备各重要制程单元及工艺规格详细要求

详见设备各重要制程单元及工艺规格详细要求

11

风刀吹干能力

12

FFU噪音测试

正常生产条件下

噪音测试仪

(厂商准备)

<55DB

 

售后服务

•质保部件:整机(耗材如滤芯除外);

•质保期限: 12 月;制造者对质保期的定义 设备安装调试完成验收次日起12个月;

•设备技术资料提供:

设备厂商需提供设备操作使用手册、设备总图、部件装配图、电气接线图书面资料及电子资料各一套

•卖方需对买方人员进行不少于3次的设备维护及操作培训。


 

蒸镀前清洗系统

一、基本信息

仪器设备名称

蒸镀前清洗系统

购置平台

光电加工平台

 

二、主要技术性能指标和配置要求

备注:“*”表示设备规格的必要条件,必须达到该规格。

一、总体要求:

1.  *该设备主要用于中试线蒸镀前玻璃基板表面的清洗,对应的玻璃基板尺寸为200mm*200mm及370mm*470mm,玻璃基板的厚度为0.7mm~1.5mm。

2. 

470(200)mm

 

设备尺寸:TBD

3.  玻璃基板的流片方向

370(200)mm

 

 

 

 


4.  玻璃基板的无效区域:距离玻璃基板边缘6mm。

5.  *玻璃基板的上/下料方式:手动投/取料,设备的投片高度为950mm±20mm。

6.  传动分布方式:齿轮传动,材质为UPE。传动过程总需要有O型环对无效区进行压合。

7.  *设备的Passline高度950mm±20μm,设备的滚轮材质需为不锈钢的SUS材料,设备的传送速度需为可调,传送速度≥1mm/s。

8.  *本体构造及材质

设备的槽体:透明PVC

设备机架:SUS304

上盖:  PVC 透明,单层盖设计

外盖:  PVC 透明

搬送轴心 材质:SUS316/304(316首选)

Roller材质:        UPE/PE

设备的roller转动方式均为马达驱动,Roller间的高度误差≤500μm,产品对位精度±1mm)

设备需自带基板检知SENSOR

 

9.触摸屏:需在入料口,出料口均有一处触摸屏控制系统,面板尺寸≥12〃。

10. 设备的最大维护时间≤8H,设备的tact time 40S (speed 2.4m/min,glass gap 470mm)。

11. *设备的制程流程:

入料→液切→毛刷清洗→超声波→中压水洗→高压水洗→二流体水洗→风刀吹干→出料。

二、设备各重要制程单元及工艺规格详细要求

1.产品尺寸规格:(L)200mm*(W)200mm及(L) 370mm*(W)470mm长宽尺寸公差为±0.2mm,产品厚度0.7mm~1.5mm±0.05mm。

2.设备的操作模式:手动模式、半自动模式、全自动模式。

3.工作台:无,环境洁净度:Class1000。

4. *particle的去除率:

particle(S)≤3μm,去除率≥98%;

3μm<particle(M)≤10μm,去除率≥99%

  particle (L)>10μm,去除率≥99.5%

清洗后particle总量≤100ea,M+L≤20ea,L≤5ea,水滴角检测≤5℃。

(备注particle检测方法为:将产品完成清洗后的产品拿至AOI设备进行检查;有机物检测方法为:将清洗后的产品使用水滴角检测仪进行角度检验)

10.*设备的稳定性,验收检查时设备连续运行3000pcs产品无刮痕和破损,设备无异常。

11.*设备稳定性 MTBF>100H(平均故障时间)MTTR<2H(设备平均恢复时间),设备稼动率≥90%。

12.材质:

槽体:Clean-PVC:10mm。

滚轴:SUS 304/316;d25~35mm无缝型,湿法区PE斜齿轮,干法区采用磁力轮。

13.工艺规格

8.1工艺质量:整个200mm*200mm,370mm*470mm区域 。  

8.2*清洗效果的均一性 5%(片内取若干个点,(水滴角最大值-水滴角最小值)/(水滴角最大值+水滴角最小值)*100%<5%);

Mura和水痕:无mura和水痕,滚轴痕迹。

8.3*背面无滚轴痕迹,没有异常微粒聚焦。

8.4液切

液切风刀材质:PVC及CDA流量计。

喷洒管:上下各4~6支,压力调节:rinse压力>0.12mpa。

水槽容积≥150L,水槽应带有高低水位监测sensor。

流量监控:每一根喷灌设立独立的流量计监控/调整流量,并可向PLC上传模拟信号。

压力监控 :高压喷淋需要具备独立的压力开关,抵压力警报alarm。

流量调整方法:手动阀

液切工艺使用浓度为5%的碱性溶剂进行清洁;

8.5毛刷清洗

滚刷线径≤0.1mm,材质PA610(尼龙),

滚刷外径30~50,滚刷线长≥15mm,

压入量-5~+5mm(工艺区间为-1.2~0mm),

压入量控制系统:伺服控制,精度在0.1mm.

滚刷转速在100~500rpm,可以正反转recipe中可调。

具有独立的滚刷冲刷功能,毛刷为2~4组。

毛刷清洗段使用液切工艺使用浓度为5%的碱性溶剂进行清洁;

8.6 滤芯使用等级

洗剂过滤10μm;毛刷清洗5μm,超声波5μm,中压5μm

,高压3μm,BJ&纯水0.2μm;

8.7滚轴分布间距pitch 30mm~60mm;

8.8超声波水洗

水槽

水槽容积:  ≥150L/槽水 槽材质:PVC 透明使用液体:DIW or 药剂(弱碱性)

液位SENSOR:    每槽具有高、中、低3个档位的限位sensor.

超音波

超音波型式:投入式,超音波功率: 0.8~2.0KW

振动子材质:SUS304/316

14.中压水洗

喷洒系统

*喷洒PUMP:喷洒压力范围:2~4 kg/cm2

喷洒压力表:上喷、下喷指针式压力表,喷管:   PVC

水槽容积:≥150L,水槽材质: PVC

操作温度:  常温,液位SENSOR:3组,需要具有独立的补水电磁阀

10高压水洗

喷洒PUMP:      1台

*喷洒压力:     MAX范围:5~10 MPa

喷洒压力表:    上喷、下喷指针式压力表,喷管:  上喷3支、下喷3支

喷洒流量计:数位式1组,过滤器压力表:过滤前后各一组。

水槽容积:      ≥150L,水槽材质:   PVC

12.二流体水洗

喷嘴型式 :SUS 304

*喷嘴压力/流量 :压力:Max3KG/cm2 ,压力采用手动阀调整

上下均需要至少2根喷管,材质为PVC

*喷洒角度角度可调,压力表范围0~8kg/cm2

12.风刀吹干

AK: 数量:设上风刀、下风道3~4只;

风刀材质为SUS304

*结构:可根据实际工艺对风刀角度进行调整(0~60°);

流量控制:具有监控CDA流量的流量计;

具有可独立的风刀启闭功能;

14.基板排出

槽体:PVC透明,机架:SUS304

搬送轴心 材质: SUS316/304

驱动马达:  1台,驱动方式:齿轮,玻璃基板排出时需具有基板检出sensor。

*产品的排出位置应安装静电消除系统,产品排出时表面的静电电压在10S内≤±100v。

FFU(Fan Filter Unit)

安装于出料侧;

滤芯材质:PTFE 过滤效率:99.9999%@0.1μm 风速控制:0--0.8m/sec(可调速) 振动:<1.0mm/s 噪音:<55DB

数量:3

安全要求:

设备应保证每隔2米安装一个EMO安全装置。

14.*厂商需列出设备零部件的名称及品牌。

15.设备验收设备验收(包含但不限于以下验收项目,需要满足规格书内的设备工艺要求;设备使用过程中残件的解决)

项次

检验项目

条件

方法/工具

标准

1

设备外观尺寸

依规格书

(设计完成版本为基准)

卷尺量测

误差±10MM

2

传输测试

(验收人员操作)

玻璃尺寸

共200片纯水清洗连续运转

现场实测

100%

误操作及玻璃基板不合格除外

4

滚痕

累计生产3000pcs产品无刮痕和破损,设备无异常。

目视检查

无滚痕

5

刮痕

目视检查

无刮痕

6

泄漏测试

纯水运转

现场实测

无漏水

7

手动操作

依设备操作手册

全程手动操作运转

运转正常

8

安全项目

检查安全系统项目

(1).DI WATER流量异常警报

(2).CDA压力不足警报

(3).循环槽液位异常警报

(4).漏液警报

(5).超温警报

(6).马达、泵浦过载警报

 

现场实测

安全系统正常使用

9

静电值

风刀吹过后的素玻璃

静电值5点量测

环境温度23±3℃

环境湿度55±5%

静电

ESD≤±100V

10

洁净能力

详见设备各重要制程单元及工艺规格详细要求

详见设备各重要制程单元及工艺规格详细要求

详见设备各重要制程单元及工艺规格详细要求

11

风刀吹干能力

12

FFU噪音测试

正常生产条件下

噪音测试仪

(厂商准备)

<55DB

 

售后服务

•质保部件:整机(耗材如滤芯除外);

•质保期限: 12 月;制造者对质保期的定义 设备安装调试完成验收次日起12个月;

•设备技术资料提供:

设备厂商需提供设备操作使用手册、设备总图、部件装配图、电气接线图书面资料及电子资料各一套

 

•卖方需对买方人员进行不少于3次的设备维护及操作培训。

 


附表二:供应商信息收集表

   供应商类型:   分销商(Distributor)□;   制造商(Manufacturer)□;  两者都是(Both)□;

公司名称/简称(Name of  Company /Brief Name):

 

 

地址(Address):

 

电话

(Tel)

传真

(Fax)

电子邮件

(E-mail)

产品介绍:产品名称、产地、产量(Brief Introduction of Products: Name, Goods of Origin Turnout)

 

 

交货地点方式                                     币种                                支付条款

(Delivery Place)                               (Currency)                         (Payment Terms)

 

银行信息

(Bank Information)

银行名称

(Bank Name)

银行地址

(Bank Address)

账号

(Account)

会计号码

(Swift code)

收款单位名称

(Payee )

发票信息

(Invoice Information)

发票类型            □17%增值税发票(VAT)   □6%增值税发票(VAT)

(Type of Invoice)  □4%增值税发票(VAT)     □普通发票(General)

 

税号

(Tax Account)

业务联系人(Contact Person)

 

业务联系人英文名称:(English Name of Contact Person)

 

性别(Gender)

电话(Tel)

财务联系人

(Fin Person)

性别

(Gender)

传真

(Fax)

1、上述内容签字盖章才有效;No effect without your signature and stamp.

2、其真实性有法律效应;All the information has legality.