低损伤溅射设备招标公告

系统的主要配置以及技术规格要求如下：

一、     设备主要构成部分：

1、 镀膜腔室：含独立真空系统；

2、 Buffer腔室：含独立真空系统&机械手，与现有蒸镀腔室实现对接；

3、 操作软件；

4、 不需要对位系统和Mask stocker；

5、 设备整体要求设计合理，技术先进，保证系统具备良好的动力学性能，控制系统选用的元器件应精度高，可靠性好，响应快，维修方便，配置美观，结构紧凑，性能稳定；

6、 系统所有零、部件和各种仪表的计量单位应全部采用国际单位（SI）标准；

7、 系统及主要组成部分由原产地设计制造，禁止转包，除非得到买方的书面同意；

二、     镀膜&buffer腔室共通配置要求

(一)腔室

1、  配备view port，随时清晰确认基板及机械手等状况；

2、  配备激光附件感应基板位置；

3、  腔室预留2个接口，检漏仪等特殊用途；

4、  O-ring材质要求：耐腐蚀全氟材质；

5、  配备内衬板2套（一用一备）；

6、  内衬板材质:SUS304；

7、  腔室PM时长：＞120 h（设备工作时间）；

(二)真空系统

1、 pump配置：干泵+冷泵；

2、 极限真空：＜1×10^-4 Pa；

3、 预留manual valve，异常情况时手动破真空；

4、 Pump管道口配备滤网；

5、 配备低真空压力计×1和高真空压力计×1；

三、     镀膜腔室

1、 基板尺寸：8 inch×0.7 mm

2、 单次溅射wafer数量：1；

3、 溅射源数量：1；

4、 溅射靶材可选：ITO、IZO、Ag等；

5、 靶材利用率：＞40%；

6、 气体管路：（1）Ar；（2）O2；（3）N2；（4）备用；（5）备用；

7、 最大气体流量：500 sccm；

8、 机械对位精度：＜200 μm；

9、 Power supply≥1.5 kW;

10、      配备靶材2套（一用一备）；

11、      可实现全自动溅射成膜；

四、     传送系统

1、 机械手承重：＞4 kg（wafer和mask、frame）；

2、 机械手传送故障率：＜0.01%

3、 XYZ轴移动行程：可完成wafer取放动作；

4、 XYZ传送精度：100 μm；

5、 传送时wafer朝向：wafer face down；

6、 传送过程中wafer无脏污、划伤、破损；

7、 蒸镀设备机械手端口开放，需求低损溅射设备可控制蒸镀设备机械手；

五、     膜层参数

1、 有效区域面积：200 mm×200 mm；

2、 膜层厚度精度：＜±3%；

3、 膜层厚度均一性：＞97%（25点均一性）；

4、 膜层粗糙度：＜2 nm；

5、 方阻：＜80 Ω/square；

6、 透过率（1500 A）: @450 nm＞90%，@550 nm＞90%，@610 nm＞90%；

7、 各项参数片内均一性：＞97%；

8、 各项参数片间均一性：＞97%；

9、 镀膜后＞3 μm particle数量：＜1；

10、 镀膜后＜3 μm particle数量：＜3；

六、     镀膜工艺

1、 OLED with protecting layer镀膜后，实现低损伤溅射，器件点亮无黑点，电压正常，寿命正常；

2、 基底尺寸：8 inch×0.7 mm；

3、 沉积速率：0 A/s -4 A/s可控；

4、 速率控制精度：0.01 A/s；

5、 基底温度：＜85℃；

6、 膜层沉积时wafer朝向：wafer face down；

7、 工艺过程中wafer无脏污、划伤、破损；

8、 携带mask镀膜；

七、     操作软件

1、 显示界面：压力、状态、process等必要参数；

2、 Recipe数量：＞100；

3、 可捞取Log数据；

4、 可实现逆方向传片；

5、 配备紧急停止功能；

6、 配备异常报警功能；

7、 软件系统语言：简体中文&英文；

八、     安全

1、 配备主电源过载保护；

2、 配备过热继电器断电保护；

3、 配备紧急情况报警装置；

4、 配备设备急停按钮；

九、     培训&售后服务

1、 厂商人员负责从装机开始直至验收完毕的技术服务；

2、 厂商人员负责对现场工程师及技术员进行设备运行、维修、保养等方面的培训，保证现场工程师和技术员可以独立完成设备操作、调试、保养，具备在厂商技术人员指导下对设备进行维修的能力；

3、 卖方负责向买方提供自验收之日起12个月的免费保修服务，在免费保修期内免费提供零件，软件部分配合需求免费升级，服务应及时有效。设备故障时，在接到用户故障信息后要求30分钟内响应，24h内到现场，非人为引起的部件损坏应由卖方免费提供更换；

4、 设备免费保修期满之后，在设备使用寿命期内，卖方应保证提供广泛而优惠的技术支持及备件供应；

   供应商类型：   分销商(Distributor)□；   制造商(Manufacturer)□;  两者都是(Both)□；

公司名称/简称(Name of  Company /Brief Name)：

地址(Address)：

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产品介绍：产品名称、产地、产量(Brief Introduction of Products: Name, Goods of Origin Turnout)

交货地点方式                                     币种                                支付条款

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2、其真实性有法律效应；All the information has legality.