江苏集萃光电检测中心（以下简称“招标人”）应业务需要，对《MOCVD 外延系统改造》进行公开招标，欢迎合格的供应商参加投标。
现将相关事项公告如下：
一、项目名称及编号：
1、项目名称：MOCVD 外延系统改造
2、招标编号：JSJC20190705-2
二、招标范围：
MOCVD 外延系统改造 数量:1
设备参数要求见附表一
三、投标人资格要求：
参见《江苏集萃光电检测中心招标采购仪器设备投标人须知》
四、招标报名时间:
招标报名截止时间：2019年07月19日17：00
招标报名方式可分为：现场报名或邮件报名
报名联系人：倪 先生
报名地址：江苏省苏州市吴江区汾湖大道1198号办公楼2楼
联系电话：0512 62316052
邮箱：jsjc_cgxz@jitriioo.com
报名须填写供应商信息表，详见附表二
五、投标时间
投标截止时间：2019年07月19日17：00
投标联系人：倪 先生
投标地址：江苏省苏州市吴江区汾湖大道1198号办公楼2楼
联系电话：0512 62316052
投标截止前如有任何技术问题，请联系：
技术联系人：钱先生
邮箱：qianl@jitriioo.com
附表一：设备参数要求
一、基本信息
仪器设备名称 | MOCVD 外延系统改造 |
购置平台 |
|
二、主要技术性能指标和配置要求
一、MOCVD系统升级的主要包括如下：
1、升级现有服务器及客户端电脑的控制系统。
包括新的电脑服务器，最新正版Windows10 控制系统，调试电脑控制系统与设备的通讯。
2、升级反应室为高温设备。
反应室通过水冷和喷淋头设计，保证气流均匀和重复性。
A 热电偶 B钨丝加热器 C进气管 D喷淋头
E反应室盖 F光管探头 G喷淋头水冷管 H双O圈密封
J石墨盘 K反应腔水冷 L石墨盘支撑 M排气管
喷淋头的放大图，三族元素和五族元素间隔喷淋，保证气流充分混合。
二、改造技术要求要求：
1、改造后，每炉可用于生长不少于19片2"wafer, 并且wafer表面温度达到1400°C。
2、反应室温度从上到下依次降低，分别是喷淋头，反应区，石墨盘，加热器。要求石墨盘温度大于1400度，盘面温度在1100度时，温度差＜5度。
3. 升级高温检测，生长监控及翘曲监控系统。
4、通过生长检测和温度检测，确保产品的质量
5、A温度监控系统
外延片表面真实温度测量，与主控机实现数字交换，405，633和950nm三反射波长可供选择。
6、B外延片生长速度监控和翘曲监控系统
放置于外圈可以测量12片的翘曲；放置于中圈，可以测量6片的翘曲；
附表二：供应商信息收集表
供应商类型： 分销商(Distributor)□； 制造商(Manufacturer)□; 两者都是(Both)□； | ||||
公司名称/简称(Name of Company /Brief Name)：
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地址(Address)：
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电话 (Tel) | 传真 (Fax) | 电子邮件 (E-mail) | ||
产品介绍：产品名称、产地、产量(Brief Introduction of Products: Name, Goods of Origin Turnout)
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交货地点方式 币种 支付条款 (Delivery Place) (Currency) (Payment Terms) | ||||
银行信息 (Bank Information) | 银行名称 (Bank Name) | |||
银行地址 (Bank Address) | ||||
账号 (Account) | ||||
会计号码 (Swift code) | ||||
收款单位名称 (Payee ) | ||||
发票信息 (Invoice Information) | 发票类型 □13%增值税发票(VAT) □6%增值税发票(VAT) (Type of Invoice) □3%增值税发票(VAT) □普通发票(General) | |||
| 税号 (Tax Account) | |||
业务联系人(Contact Person)
| 业务联系人英文名称：(English Name of Contact Person)
| 性别(Gender) | 电话(Tel) | |
财务联系人 (Fin Person) | 性别 (Gender) | 传真 (Fax) | ||
1、上述内容签字盖章才有效；No effect without your signature and stamp. 2、其真实性有法律效应；All the information has legality. | ||||
详见中国国际招标网
