江苏集萃光电检测中心（以下简称“招标人”）应业务需要，对《MOCVD 外延系统》进行公开招标，欢迎合格的供应商参加投标。
现将相关事项公告如下：
一、项目名称及编号：
1、项目名称：MOCVD 外延系统
2、招标编号：JSJC20190705-1
二、招标范围：
MOCVD 外延系统 数量:1套
设备参数要求见附表一
三、投标人资格要求：
参见《江苏集萃光电检测中心招标采购仪器设备投标人须知》
四、招标报名时间:
招标报名截止时间：2019年07月19日17：00
招标报名方式可分为：现场报名或邮件报名
报名联系人：倪 先生
报名地址：江苏省苏州市吴江区汾湖大道1198号办公楼2楼
联系电话：0512 62316052
邮箱：jsjc_cgxz@jitriioo.com
报名须填写供应商信息表，详见附表二
五、投标时间
投标截止时间：2019年07月19日17：00
投标联系人：倪 先生
投标地址：江苏省苏州市吴江区汾湖大道1198号办公楼2楼
联系电话：0512 62316052
投标截止前如有任何技术问题，请联系：
技术联系人：钱先生
邮箱：qianl@jitriioo.com
附表一：设备参数要求
一、基本信息
仪器设备名称 | MOCVD 外延系统 |
购置平台 | 检测中心 |
二、主要技术性能指标和配置要求
一、MOCVD主体设备一台
1、 主要配置如下：
1.1电路控制系统主要由以下部分组成
A过流保护开关 B主电源开关 C漏电保护器 D主电源保险
E低功率电源 F维护模式开关 G低功率电源保险 H安全控制系统
1.2 MOCVD气体输运系统主要由进气、控制和出气构成，控制部分可以达到0.1sccm的气流控制。
A 氢气纯化器 B 氨气纯化器
C 气体进线排 D MO源的气体控制单元
E MO源气体水浴槽 F 进反应室线排
1.3.MOCVD手套箱、水冷系统、真空系统
A 手套 B反应室；在手套箱操作，避免空气中的水氧污染反应室
1.4、MO源恒温水浴槽，控制温度为±0.15度。A温控操作系统B排水管；数量6个；
1.5、干泵做为抽气系统，避免油泵的污染，数量1台；
1.6、计算机控制系统及软件；
A客户计算机控制界面 B服务器 C交换模块 D气体流量和压力控制
E PLC逻辑控制 F反应室温度和压力控制 G安全控制系统
1.7、露点仪（H2&N2）各一套；
1.8、N2/H2/NH3 各1个POU ；
1.9、气体浓度控制器EPISON4一套；
1.10 设备包含GAP可调功能；
1.11、MOCVD备件包；
2、MOCVD主机安装要求
2.1、设备移入，定位，水平调整及连接
2.2、设备内气体管路连接
2.3、尾气过滤器清理
2.4、设备电气部分连接与安装
设备内部控制电缆连接，气动管路连接；直流电源柜电缆连接；主泵及尾气过滤器安装与连接；Chiller 控制电缆连接GB 控制踏板安装Rotation 控制踏板安装
2.5、设备水路连接
2.6、喷淋头拆卸，专业清洗/烘烤，密封件更换、重新安装与调整
3、MOCVD主机调试要求
3.1、设备上电及初步检查
3.2、设备整体氦检漏
3.3、反应腔内件安装、水平度/同心度调节
3.4、软件控制系统测试
3.5、设备所有信号及安全互锁逻辑（SCS）测试
3.6、恒温水槽及加热带测试
3.7、Run/Vent 压力平衡测试及调节
3.8、MFC/PC 内部量程确认（也可根据实际需要重新定义），零点调节与功能测试
3.9、热交换机功能测试
3.10、腔体压力系统测试
3.11、腔体加热及控制系统测试
3.12、手套箱功能测试（保压，压力控制，再生，循环，水氧指标等）
3.13、EpiTT 系统测试
3.14、反应腔温场分布调节与测试
3.15、设备相关参数的设定与确认
3.16、现场培训不少于1个月的安装调试培训；
3.17、售后服务24小时支持；
3.18、高温改造相关技术交流；
4、MOCVD主机主要技术指标：
4.1、气体输运系统中，有机金属源气路包含：TEGa源，TMGa源、Cp2Mg源、TMAl源、TMIn源，其中TEGa源、Cp2Mg源各2路；气体源气路包含：NH3、SiH4；载气为H2、N2；
4.2、循环水浴控温，精度不低于0.15℃，温度范围：-10℃到+50℃；
4.3、每炉外延生长18片（含）以上2英寸氮化镓基外延片，并可以更换托盘生长4英寸（含）以上外延片；
4.4、控温上限不低于1100℃；
4.5、托盘能旋转，转速范围0~200rpm；
4.6、托盘水平度≤0.01mm，同心度≤0.05mm；
二、MOCVD气体纯化系统—H2、N2、NH3纯化器各一台
为保证产品质量，MOCVD使用的工艺气体需要纯化到9N以上。所以MOCVD设备需要配备H2、N2、NH3纯化器各一台，流量分别为20NM3/h，20NM3/h，10NM3/h。原理图如下：
氢气纯化器技术指标：
1、H2气体在线自动再生纯化器，20NM3/h,出口纯度>9N ：
2、H2气体纯化器，最大流量20NM3/hr
2.1 最大流量20Nm3/hr@80...250Psi
2.2 入口杂质气体最大含量限制@最大流量、最高工作压力、100%负荷循环、最短再生间隔
H2O：10ppm / O2：7ppm / CO：3ppm / CO2：0.4ppm / NMHCs：1.5ppm；
2.3 出口杂质气体含量（纯化效果）：
H2O<0.1ppb / O2<0.4ppb/ CO<1ppb / CO2<0.1ppb / NMHCs<0.001ppb/ CxHy(>45 amu)<0.006ppb；
2.4 配压力传感器、BTI；
2.5 配置自动旁路；
氮气纯化器技术指标：
1、N2气体在线自动再生纯化器，20NM3/h,出口纯度>9N ：
2、N2气体纯化器，最大流量20NM3/hr
2.1 最大流量20Nm3/hr@80...250Psi
2.2 入口杂质气体最大含量限制@最大流量、最高工作压力、100%负荷循环、最短再生间隔
H2O：13ppm / O2：10ppm / CO：5ppm / CO2：0.5ppm / NMHCs：0.2ppm；
2.3 出口杂质气体含量（纯化效果）：
H2O<0.05ppb / O2<0.4ppb/ CO<1ppb / CO2<0.1ppb / H2<1ppb/ NMHCs<0.001ppb/ CxHy(>45
)<0 006 b
2.4 配压力传感器、BTI；
2.5 配置自动旁路；
氨气纯化器技术指标：
1、NH3气体在线自动再生纯化器，10NM3/h,出口纯度>9N ：
2、NH3气体纯化器，最大流量20NM3/hr
2.1 最大流量20Nm3/hr@80...250Psi
2.2 入口杂质气体最大含量限制@最大流量、最高工作压力、100%负荷循环、最短再生间隔
H2O：10ppm / O2：1ppm / CO：0.5ppm / CO2：5ppm ；
2.3 出口杂质气体含量（纯化效果）：
H2O<1ppb@N2 2ppb@NH3 /O2<1ppb / CO2<1ppb / Hydrocarbons<0.001ppb；
2.4 配压力传感器；
2.5 配置自动旁路；
纯化器品牌要求：因特格或赛斯
质保：一年以上
三. MOCVD尾气处理系统一套
1、尾气处理系统采用燃烧式，可以有效去除尾气中的氢气和氨气，达到环保要求。反应过程如下：2H2+O2=2H2O 4NH3+3O2=2N2+6H2O；
2、滑动式等离子体点火器优势:1利用弧光放电，使气体在闪电燃烧;2滑动点火器使用一级压缩空气点燃，因此少量的尾气就可以安全点燃；3如果加热器损害使腔体无法保持温度，滑动式等离子体点火器可以做为应急使用，确保尾气能燃烧；
3、设备性能：1.燃烧稳定，并且完全燃烧2无废水产生3排气温度在25度以下4冷凝水中无氨；
4、建议品牌及型号：NPT NSGC1.5K ；
5、质保：二年；
6、尾气处理器技术指标：
6.1、尾气处理能力氢气最大200升每分钟，氨气最大120升每分钟；
6.2、在正常使用条件时（氢气150升每分钟，氨气100升每分钟），尾气浓度如下:
NO<20PPM，NO2<2PPM， H2 <1PPM，NH3<0.1PPM；
6.3、含现场安装定位；
四. MOCVD备件再生系统-烤盘炉一套
烤盘炉的规格参数：
1、加热结构形式 单管卧式热壁型；
2、适用盘直径规格 ≤350mm，适合19x2”托盘，每次至少能放2片19x2”托盘；
3、工作温度区间 700～1000℃；
4、工艺气体 N2、Cl2或HCl ；
5、装载方式 采用具有热稳定性的材料载片 ；
6、装卸方式 自动进出装卸 ；
7、尾气系统 配置有专业定制的管线阀门的尾气系统，连接厂务负压系统；
技术指标：
1、工艺过程加热和热稳定效率高，能耗低，<15KW；
2、工作温度区间700-1000℃，每炉约需4 小时。标准紫外LED20run后的石墨盘（厚度小于200微米），2次烤干净；
3、单独尾气系统，需要针对含有氯气或氯化氢的尾气进行专业处理；
4，质保：1年
验收标准：
设备调试和验收应以相关的国际标准和规定及卖方投标文件中提供的技术参数为依据，按照买卖双方签字同意的预验收（ IAT）和最终验收（ FAT） 行业标准。
技术培训及服务：
l，厂商人员负责从装机开始直至验收完毕的技术服务
2，厂商人员负责对现场工程师及技术员进行设备运行、维修、保养等方面的培训，保证现场工程师和技术员可以独立完成设备操作、调试、保养，具备在厂商技术人员指导下对设备进行维修的能力
3，装机后再免费开展（3梯次培训）；
4，保修期内叫修时限12小时到厂（不可抗力除外）
5，现场工程师要求有不少于 3 年的相关工作经验
设备免费保修期满之后，在设备使用寿命期内，卖方应保证提供广泛而优惠的技术支持及备件供应
附表二：供应商信息收集表
供应商类型： 分销商(Distributor)□； 制造商(Manufacturer)□; 两者都是(Both)□； | ||||
公司名称/简称(Name of Company /Brief Name)：
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地址(Address)：
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电话 (Tel) | 传真 (Fax) | 电子邮件 (E-mail) | ||
产品介绍：产品名称、产地、产量(Brief Introduction of Products: Name, Goods of Origin Turnout)
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交货地点方式 币种 支付条款 (Delivery Place) (Currency) (Payment Terms) | ||||
银行信息 (Bank Information) | 银行名称 (Bank Name) | |||
银行地址 (Bank Address) | ||||
账号 (Account) | ||||
会计号码 (Swift code) | ||||
收款单位名称 (Payee ) | ||||
发票信息 (Invoice Information) | 发票类型 □13%增值税发票(VAT) □6%增值税发票(VAT) (Type of Invoice) □3%增值税发票(VAT) □普通发票(General) | |||
| 税号 (Tax Account) | |||
业务联系人(Contact Person)
| 业务联系人英文名称：(English Name of Contact Person)
| 性别(Gender) | 电话(Tel) | |
财务联系人 (Fin Person) | 性别 (Gender) | 传真 (Fax) | ||
1、上述内容签字盖章才有效；No effect without your signature and stamp. 2、其真实性有法律效应；All the information has legality. | ||||
详见中国国际招标网
