聚焦离子束-扫描电镜-能谱仪系统

产品介绍

型号及主要参数

厂家:FEI(美国)

型号:FEI-Scios 2 Hivac

主要参数:

离子束分辨小于3nm@30KV

电子束分辨率:workspace<1nm@15KVworkspace<1.6nm@15KV

样品XY方向移动范围不低于110nmZ方向不低于60nm,可绕Z轴旋转任(360度

意角度倾斜角度T范围不小于-1590


用途及功能

扫描电镜主要用于观察、分析、记录样品的微观形貌,

聚焦离子束用于样品微纳米尺度下的切割,

刻蚀能谱仪主要用于样品元素分析


联系人: 宋老师

电话: 0512-62316061

邮箱: songxx@jitriioo.com

  • 产品名称:聚焦离子束-扫描电镜-能谱仪系统
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