轮廓仪

产品介绍

型号及主要参数

厂家:Bruker(美国)

型号:ContourGT-K

主要参数:

测量模式:垂直扫描干涉模式VSI和相移干涉模式PSI以及高级测量模式VXI

垂直测量范围:0.1nm 至 10mm,全量程闭环扫描

垂直扫描速度:可达28.1μm/s

横向分辨率:0.08 至13.1μm

倾斜调制范围:6 (Tip/Tilt)

视场范围:8.24mm 至0.05mm(更大面积可选用缝合功能)

台阶测试精度:0.75%

手动样品台:移动范围:150mm (XY轴)/100mm(Z轴)

 

用途及功能

材料表面2D和3D测量;粗糙度(线粗糙度,面粗糙度),纳米级到微米级;材料表面波

纹度,翘曲度;台阶高度,宽度;材料表面槽深和槽宽;膜厚测量;材料表面的微观结构

(体积,角度,曲率半径等)。

 

联系人: 宋老师

电话: 0512-62316061

邮箱: songxx@jitriioo.com

  • 产品名称:轮廓仪
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