聚焦离子束(FIB)
型号及主要参数:
厂家:FEI(美国)
型号:FEI-Scios 2 Hivac
主要参数:
离子束分辨小于3nm@30KV
电子束分辨率:workspace<1nm@15KV,workspace<1.6nm@15KV
样品XY方向移动范围不低于110nm,Z方向不低于60 nm,可绕Z轴旋转任(360°)
意角度倾斜角度T范围不小于-15到90°
用途及功能:
扫描电镜主要用于观察、分析、记录样品的微观形貌,
聚焦离子束用于样品微纳米尺度下的切割、表面修饰、TEM制样
刻蚀能谱仪主要用于样品元素分析
特点:
离子束与电子束双束,实现聚焦离子束FIB切割与SEM形貌同步观察
扫描电子显微镜(SEM)
型号及主要参数
厂家:ZEISS(德国)
型号:GEMINI 300
主要参数:
分辨率:0.7 nm@15 KV,1.2nm @15 KV
放大倍率:12x-2000000x
加速电压:0.2-30kV
五轴样品台:130 mm (X方向), 130 mm (Y方向), 50 mm (Z方向),-4°-70° (倾斜),360° (旋转)
用途及功能:
扫描电镜主要用于观察、分析、记录样品的微观形貌,
能谱仪主要用于样品元素分析
特点:
高分辨表面形貌成像
型号及主要参数
厂家:thermofisher(美国)
型号:ESCALAB Xi+
主要参数:
XPS能量分辨率≤0.43 eV
灵敏度: 大面积XPS, Ag3d5/2(FWHM≤1.0 eV)强度大于106CPS
角分辨ARXPS分析
紫外光电子能谱(UPS)
用途及功能:
用于粉末、薄膜、块状等各种有机无机材料的表面几个原子层(1-10 nm)的化学组成、价态的深度剖析、成像分析及功函数分析与表征。
特点:
高分辨XPS,UPS
X射线衍射仪(XRD)
型号及主要参数
厂家:Bruker(德国)
型号:D8 ADVANCE
主要参数:
X射线光管:Cu靶陶瓷X光管,功率2.2 KW
扫描方式:立式θ/θ测角仪
转动范围:-10°-168°,最小步长:0.0001°
能量色散阵列探测器
用途及功能:
物相定性定量分析
微光结构分析(微晶尺寸、微观应力)
粉末数据结构与结构精修
小角度X射线散射
特点:
整列探测器,可测试小角度XRD
原子力显微镜(AFM)
型号及主要参数
厂家:Bruker(德国)
型号:Dimension ICON
主要参数:
XY方向扫描范围90μm x 90μm,
垂直方向扫描范围10μm,
样品尺寸可达直径210mm,厚度15mm
用途及功能:
表面形貌、粗糙度、相图测试
力曲线等力学性质测试
电学性质如静电力显微镜(EFM)、开尔文探针力显微镜(KPFM)、压电力显微镜(PFM)、导电原子力显微镜测试(C-AFM)
特点:
高分辨形貌成像、电学性能测试模块如EFM、PFM、KPFM、C-AFM
核磁共振谱仪(NMR)
型号及主要参数
厂家:Bruker(德国)
型号:AVANCE NEO 400MHz
主要参数:
射频频率范围:6-440MHz,频率分辨率≤0.005Hz
灵敏度:1H≥500:1,13C≥220:1,15N≥25:1,31P≥150:1,19F≥500:1
可测C13DEPT,二维谱Cosy、Noesy、HMBC、HSQC
用途及功能:
主要应用于有机化合物分析与性能研究
特点:
Bruker全新谱仪,快速出核磁结果
激光共聚焦拉曼光谱仪(Raman)型号及主要参数
厂家:Renishaw(英国) 型号:InVia Spectrometer 主要参数: 532 nm、785 nm波长激光器,激光光斑小于0.8 μm
拉曼频移范围:532 nm包含50cm-1-9000cm-1,785nm包含50 cm-1-4000 cm-1
灵敏度:不低于30:1,能观察到硅的三阶峰及四阶峰
光谱重复性:优于±0.02cm-1,可实现mapping功能
用途及功能:
主要应用于各种物质的分子组成、结构及相对含量分析,实现对物质的鉴别和定性研究
特点:
532 nm,785 nm双波长激光器,拉曼Mapping成像
联系方式:
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